科研帮手凯视迈KS超景深3D显微镜,实

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随着半导体火热市场开展,对检测工艺的要求也逐渐提高,SEM,AFM显微镜因其造价及使用率的问题,再量产检测环节中,需要用到超景深高倍显微镜作为检测工具。

凯视迈KS-X系列3D数码显微镜是一款高精密光学数码显微镜,可用于观察、拍摄、测量及分析亚微米级物体表面的微观结构与形貌。依托强大的自研图像处理算法“KS-DSIM”,充分发挥光学硬件的性能。高倍率,大景深,广视野,集观察,拍摄,测量,分析功能于一体,下面一起就来看看吧!

KS-X3D数码显微镜彻底解决了景深浅、视野小、对比度低以及分辨率差等传统光学显微镜的问题。下面一张图可以很明显直观地感受两种差距。KS的优势非常明显,主要集中在以下8个方面:

百纳米级精度深度合成

为了提升图像分辨率必须选择高倍镜头,但拍摄凹凸形貌时,图像中往往含有大片失焦区域。

KS-X拥有深度合成功能,将多张图像的合焦区域进行融合,得到高清晰度图像,完美还原表面凹凸结构。且采用等间距拍摄,由线性标尺反馈模块控制,Z轴分辨率可达nm。

图像拼接

2D图像拼接

拼接与拍摄同步进行,结合自动矫正功能,可消除光学畸变与图像错位。可拼接图像最大尺寸为(H)像素×(V)像素。

3D图像融合

2D图像拼接的同时,进行深度合成并获取3D数据,最终呈现形式如同将全幅图像进行了立体化展示。

图像拼接

KS-X的光源模组分为发光组件与柔光组件。在保证结构紧凑的同时,光强度更高、均匀性更好、照明模式更多,且不会产生由于光源发热影响测量精度的问题。

KS自带软件可独立控制每束光的开关与强弱,实现同轴落射、同轴侧射、环形落射、环形侧射、组合照射等多种照明模式。

软件还可控制环形光进行°旋转照明并连续拍摄,分析有效信息进行合成。仅需拖动太阳图标即可实现全息照明效果。

光晕消除

去除反光:KS-X将在不同曝光条件下拍摄多组样片,将各张样片中的清晰区域融合生成一张图像,此时绝大多数的表面强反光已经被消除。多适用于金属样品。

去除环形光晕:KS-X将控制环形光进行°旋转照明并连续拍摄,分析有效信息进行合成,完美解决对检测干扰最大的环形光晕问题。多适用于球状样品。

±90°全方位观察

KS-X的Z轴支架与XYθ载物台可在±90°范围内无级调整角度。用户可观察样品的全部表面形貌。图像信息记录Z轴倾斜与θ旋转角度,不同用户操作时也可迅速还原最佳角度。

焦点共心保持

侧面对焦相机可识别镜头的最佳工作距离,软件控制镜头升降,实现迅速对焦。全方位观察时,焦点始终位于侧面对焦轴线上,避免失焦,图像始终处于清晰对焦状态。

一键图像优化

点击按键即可自动进行常用处理功能(HDR高清晰动态范围、色彩强化、亮度矫正、智能锐化、纹理显现、边缘识别、高精度焦点修正3D合成等)组合,生成12种图像优化效果预览,点击预览图,系统将以所选模式执行后续所有拍摄。

精密尺寸测量

2D测量

超低畸变光学镜头无论何种倍率保证超高精度

自动边缘检测功能消除人工误差还原真实数据

内置丰富测量工具图像保存后可继续测量

3D测量

线性标尺反馈模块Z轴分辨率可达nm

等间距拍摄获取Z轴高度数据优于等时长拍摄

Z轴序列景深融合,表面凹凸不规则样品亦可进行3D测量

机器学习与开放系统

机器学习:按照既定程序执行重复作业,已无法满足精密检测的需求。KS-X融合3D机器视觉和深度学习算法,赋予机器人真实、复杂及无序场景的“感知能力”、“分析能力”及“判断能力”。

开放系统:KS-X系统的软件开源式、硬件模块化,可供用户进行二次开发,与位移台或生产线集成,即可实现精密元器件或大尺寸面板的在线连续尺寸测量及瑕疵检测。



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